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  夙兴夜寐总结Ansys Workbench网格控制之——局部网格控制(上)

  本文主要介绍局部网格控制中的网格划分方法。虽然我们学习了全局网格控制的方法，但是在对模型网格划分时，我们一般先接受默认值或定义少量参数，利用Relevance、RelevanceCenter、Transition等进行全局网格调整...

  2024-09-18 baijin 博客文章 3 ℃ 0 评论
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  通过光刻和蚀刻工艺顺序提高整个晶圆的关键尺寸均匀性(2)

  多区域PEB烘烤盘pEB步骤在控制栅极CD方面变得非常关键，因为热剂量扩散酸并催化曝光后化学放大的抗蚀剂的化学反应。现代晶圆跟踪系统包括一个多区域/多控制器烘烤盘，旨在调整以提供更均匀的空间PEB温度分布。这种多区/多控制器烘烤盘的近似布局...

  2024-09-18 baijin 博客文章 3 ℃ 0 评论